硅烷的主流生产工艺是什么

硅烷的主流生产工艺是什么？硅烷在现代高科技中应用广泛，而且越来越重要。硅烷已经成为半导体微电子技术中最重要的特殊气体。用于制备各种微电子薄膜，硅烷可以制备单晶硅、多晶硅、非晶硅、金属硅化物、氮化硅、碳化硅、氧化硅等一系列含硅物质。在硅烷的整个生产过程中，为避免硅烷泄漏积聚发生燃爆事故，需要在现场安装使用硅烷气体泄漏浓度报警器。 硅烷的主流生产工艺:
三氯氢硅歧化法，该工艺主要是硅烷的制备方法。四氯化硅氢化生成三氯氢硅，然后三氯氢硅歧化生成二氯二氢硅，二氯二氢硅再次歧化生成硅烷。高氯化硅烷通过带有催化床的反应器逐步发生歧化反应，最终得到SiH4和SiCI4。制备歧化四硅的关键设备是催化床反应器。由于歧化反应的转化率受化学平衡的制约，这种情况要求及时将反应物与未反应的原料分离，以达到整个过程完全转化的目的。

三氯氢硅歧化制硅烷的主要特点:
1、歧化反应在塔式反应器中进行，非常适合大规模生产，生产效率高，能耗低，成本低；
2、整个系统闭路循环，排放少，有利于环保，材料利用率高；
3、反应产物易于与硅烷分离，可获得高纯度的硅烷(9-11n)；
4、硅烷精馏剩余的各种硅盐酸盐可返回歧化塔进行反应；
5、反应条件温和，能耗低，易于操作和控制；
6、可生产硅烷、四氯化硅、二氯硅烷等多种硅源材料。，并可随机搭配产品比例。

硅烷是一种非常活泼的压缩气体，与空气接触可能自燃，与空气混合形成爆炸性混合物。当加热或燃烧时，硅烷分解产生硅和氢。同时硅烷也是一种强还原剂，与氧化剂反应，与水缓慢反应，与氢氧化钾溶液和卤素反应，在6000℃分解成晶体硅，硅烷具有挥发性，其挥发性蒸气属于易燃易爆气体。无色无味，泄露后不易被发现。遇高温、电弧、火花和明火有爆炸危险。

以采用进口高精度气体传感器的ERUN-PG51SH4固定在线式硅烷气体检测报警仪为例，可以同时检测并显示硅烷气体的浓度值，超标声光报警，并联锁自动控制排气风机的启停，测量数据结果可通过分线制4-20 mA模拟信号量或总线制RS 485（Modbus RTU）数字量信号以及无线模式传输，通过ERUN-PG36E气体报警控制器在值班室实时显示硅烷的浓度值，并相应的触发报警动作。 固定在线式硅烷气体检测报警仪技术参数：
产品型号：EERUN-PG51SH4
检测气体：硅烷SiH4
量程分辨率： 精度误差：≤±2%F.S.（更高精度可订制）
显示方式：报警器1.7寸彩屏现场显示浓度值；控制器主机9寸彩屏值班室显示浓度值
报警方式：现场声光报警，值班室声光报警
数据传输：4-20mA、RS485，可选无线传输
防护功能：IP65级防水防尘
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb级防爆
 
以上就是关于硅烷的主流生产工艺是什么的相关介绍，硅烷是一种高附加值的精细化学品，广泛应用于电子和半导体行业。基于三氯氢硅歧化工艺基本思想的氢氯化和脱氯工艺符合大规模化工生产，成本低，环境污染小。适用于多晶硅企业产业链的拓展和副产品的回收，以及三氯氢硅工厂产品链的拓展，这是未来中国多晶硅和三氯氢硅企业的首选方式。不过在整个生产过程中的现场安装使用硅烷气体泄漏浓度报警器可以实现连续实时在线监测环境空气中泄漏积聚的硅烷气体的浓度值，以免发生燃爆等事故。