作为半导体工业中的重要分支之一，在使用单晶硅或多晶硅制造芯片时，化学气相沉积CVD是其中极其重要的一道工序，它是是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。那么
单晶硅气相沉积主要用到哪些气体呢？一般而言，使用化学气相沉积法外延单（多）晶硅薄膜时主要的硅源气体包括硅烷SiH4、二氯硅烷SiH2Cl2、三氯硅烷SiHCl3和四氯化硅SiCl4等，而在现场安装使用
气相外延CVD有害气体报警器就是为了对这些气体泄漏浓度进行监测，避免发生危险。
薄膜单晶体的外延生长主要是在经过切、磨、抛等精细加工的单晶衬底上生长一层合乎要求的单晶层，其实质是一种利用衬底作为籽晶的薄膜单晶生长方法。化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说，它是很简单的，两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。
晶硅薄膜化学气相沉积CVD主要硅源气体：
1、
硅烷SiH4硅烷，在常温常压状态下是一种具有大蒜恶心气味的无色气体，化学式为SiH4，既属于可燃易爆气体，同时又属于对人体有毒有害的气体，爆炸极限为0.8%～98%，环境空气中的硅烷处于此浓度范围内时，遇明火、电弧、火花、高温等就有可能发生爆炸。人体不慎吸入硅烷蒸气后，引起头痛、头晕、发热、恶心、多汗；严重者面色苍白，脉搏微弱，陷入半昏迷状态。
2、
二氯硅烷SiH2Cl2二氯硅烷，在常温常压状态下是一种具有特殊气味的无色气体，化学式为SiH2Cl2，既属于可燃易爆气体，同时又属于对人体有毒有害的气体，爆炸极限为4.1%～96%，环境空气中的二氯硅烷处于此浓度范围内时，遇明火、电弧、火花、高温等就有可能发生爆炸。对上下呼吸道、皮肤和眼睛有腐蚀性和刺激性，人体不慎吸入后，有流泪、咳嗽、咳痰、呼吸困难、流涎等。可引起肺炎或肺水肿。眼接触可致灼伤，导致失明。
3、
三氯硅烷SiHCl3三氯硅烷，在常温常压状态下是一种无色液体，化学式为SiHCl3，具有一定的挥发性，其挥发蒸汽既属于可燃易爆气体，同时又属于对人体有毒有害的气体，爆炸极限为1.2%～90.5%，环境空气中的三氯硅烷蒸汽处于此浓度范围内时，遇明火、电弧、火花、高温等就有可能发生爆炸。对眼和呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度下，引起角膜混浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿。并可伴有头昏、头痛、乏力、恶心、呕吐、心慌等症状。溅在皮肤上，可引起坏死，溃疡长期不愈。慢性中毒见慢性卡他性气管炎、支气管炎及早期肺硬化。
4、
四氯化硅SiCl4四氯硅烷，在常温常压状态下是一种有刺激性气味的无色或淡黄色发烟液体，化学式为SiCl4，具有强烈的挥发性，其挥发蒸汽属于对人体有毒有害的气体，对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用。高浓度可引起角膜混浊，呼吸道炎症，甚至肺水肿。皮肤接触后可引起组织坏死。主要用于制造有机硅化合物，如硅酸酯、有机硅油、高温绝缘漆、有机硅树脂、硅橡胶和耐热垫衬材料。
以采用进口高精度气体传感器的ERUN-PG51S6
固定在线式有毒有害气体检测报警仪为例，可以同时检测并显示硅烷SiH4、二氯硅烷SiH2Cl2、三氯硅烷SiHCl3和四氯化硅SiCl4等气体的浓度值，超标声光报警，并联锁自动控制排气风机的启停，测量数据结果可通过分线制4-20 mA模拟信号量或总线制RS 485（Modbus RTU）数字量信号以及无线模式传输，通过ERUN-PG36E气体报警控制器在值班室实时显示有害气体的浓度值，并相应的触发报警动作。
气相沉积有害气体检测报警仪技术参数：
产品型号：ERUN-PG51S6
检测气体：SiH4、SiH2Cl2、SiHCl3、SiCl4
量程范围：0～1、10、100、1000、5000、50000ppm、100%LEL、20%、50%、100%Vol可选，其他量程可订制
分 辨 率：0.001ppm（0-10ppm高精度）/0.01ppm（0～10 ppm）；0.01ppm（0～100 ppm），0.1ppm（0～1000 ppm），1ppm（0～5000 ppm以上）； 0.1%LEL；0.01%、0.001%Vol
方法原理：电化学、催化燃烧、红外、半导体、PID光离子等可选
精度误差：≤±2%F.S.（更高精度可订制）
显示方式：报警器2.5寸彩屏现场显示浓度值；控制器主机9寸彩屏值班室显示浓度值
报警方式：现场声光报警，值班室声光报警
数据传输：4-20mA、RS485，可选无线传输
防护功能：IP66级防水防尘
防爆功能：隔爆型，Ex d ⅡC T6 Gb级防爆
以上就是关于
单晶硅气相沉积主要用到哪些气体的相关介绍，化学气相沉积（CVD）是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。而在现场安装使用
气相外延CVD有害气体报警器就是为了对现场的硅烷SiH4、二氯硅烷SiH2Cl2、三氯硅烷SiHCl3和四氯化硅SiCl4等有害气体的浓度值进行检测，以免发生燃爆或人员中毒的危险。
